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Principaux équipements
•
Préparation chimique – gravure humide
•
Dépôt sous vide
•
Oxydation et recuit
•
Alignement de masques et photolithographie
•
Gravure sèche
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Microscopie et lithographie électronique
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Dépôts électrochimiques
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Dépôts chimiques basse pression
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Gravure chimique
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Moyens de nettoyage, d'amincissement, d’assemblage et de connexion
•
Caractérisations physique et optique
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Caractérisations électriques en signal basse fréquence ou continu
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Caractérisations électriques micro-ondes et optoélectronique
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