Profilométrie-vibrométrie optique

Descriptif :
Ce TP permet de comprendre et d'évaluer le comportement mécanique en régime statique et dynamique des dispositifs micromécaniques et de s'initier aux techniques optiques de caractérisation des déplacements et des vibrations à l'échelle micrométrique. Il permet par exemple d'observer l'effet des contraintes résiduelles dans les films minces et d'évaluer leur module d'Young biaxial. Il peut être adapté pour une formation sur les techniques interférométriques

Pré-requis :
Connaissances élémentaires en mécanique et en optique

Nb d’étudiants : 4 à 6 étudiants

Durée : 3 ou 4 heures

Matériels utilisés :

• 2 postes de profilométrie-vibrométrie optique interférométrique 3D
• Systèmes d'excitation piezoélectrique
• Microdispositifs sur silicium (membranes, micropoutres, microponts,…)

Réalisation :

• Initiation aux techniques interférométriques en lumière blanche et monochrome (profilométrie 3D, interférométrie
..moyennée dans le temps, interférométrie stroboscopique, traitement des interférogrammes)
• Mesure des déformations statiques de microdispositifs
• Mesure des fréquences de résonance et des modes de vibration
• Evaluation des contraintes résiduelles et du module d'Young de films minces.